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Product Center光学环境真空微腔探针台 测试腔:同时满足静态/动态测试,304不锈钢材质,可在紫外灯下保证气密性测试; 测试样品数:同时测试8个样品,可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试;
不锈钢加热真空腔体主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为50x50mm,台面可升温到350℃。
流量计数量:5个,(根据客户需求标定 气体 量程 进气口和出气口) 气体环境密封 6探针真空探针台测试腔 流量规格:500 ml/min 精准度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.) 重复精度:±0.2% F.S 响应时间:≤1 s 密封形式:金属密封 接头尺寸:6 mm 漏率:<1×10-8 Pa·m3/s 通讯接口:RS485
方型真空加热腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台,台面为φ100mm,台面可升温到350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极,多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上,由内部探针行将样品电极引入腔体的信号线连接到外部测试仪器,外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。